CMIt分析系統

MERCURY – 缺陷複檢軟體

概論

MERCURY為LUNA®軟體生態系中的核心模組之一，專為報告再驗證所設計，用以優化半導體製程中的二次驗證流程。系統可高效讀取並比對來自多種來源的檢測報告（如KLA、SINF、TSK及客製化格式），協助工程人員進行跨來源檢核，確保資料一致性與可靠性。
系統同時提供缺陷層級與晶粒層級的雙層驗證機制，並支援缺陷複檢與依條件進行的再驗證功能。透過使用者自訂規則，工程人員可自動化篩選、比對與確認特定缺陷或參數條件，進一步提升驗證效率與判讀一致性。

主要特點

雙層驗證機制 – 同時支援缺陷層級和晶粒層級驗證。
缺陷複檢 – 提供彈性化的缺陷複檢與驗證工具。
 條件式再驗證 – 透過規則式機制，支援針對特定缺陷或參數條件進行篩選、比對與確認。
視覺化與自動化 – 提供直覺化儀表板與自動化複檢流程，提升作業效率並強化決策判斷。
參考晶粒影像比對 – 支援整合參考晶粒影像（如 Golden Die 或 CAD），可依實際晶粒位置快速比對並識別缺陷。

VENUS - 缺陷分析軟體

概論

VENUS 為 LUNA® 軟體生態系中的資料分析模組，專為半導體產業需求所設計。系統可高效處理來自晶圓測試與封裝製程的各類報告資料（如 KLA、SINF、TSK 及客製化格式），並提供完整的統計分析、趨勢分析與良率分析能力。
透過整合 IQM（Intelligent Quality Management）、缺陷分佈等關鍵指標，VENUS 可協助工程人員精準掌握製程表現，並快速辨識潛在的製程異常原因。搭配彈性的視覺化分析介面與自動化報告產出機制，系統可大幅提升分析效率、輔助決策判斷，並加速良率改善進程。

主要特點

深度分析 – 提供統計評估、趨勢監控與良率分析。
製程異常原因辨識 – 快速定位潛在製程問題來源。
視覺化&自動化 – 提供直覺化儀表板與自動化報告產出。
效率與良率提升 – 提升分析效率，輔助決策並加速良率爬升。
批次整合與缺陷分佈分析 – 支援多批次整合分析、缺陷熱點圖、缺陷全貌分析與整合式缺陷剖析，，以辨識空間分佈特徵並提供更深入的良率洞察。

MARS - 3D 量測資料分析軟體

概論

MARS為LUNA®軟體生態系中的3D量測資料分析模組，專為先進封裝製程所設計，聚焦於凸塊（bump）結構與晶圓／晶粒翹曲分析。透過精準的資料處理與視覺化工具，工程人員可有效評估凸塊高度、直徑、共面性，以及晶粒翹曲與晶圓翹曲狀態，進而辨識製程變異、提升良率並強化可靠度。
MARS以CMIt檔案格式作為標準輸入，確保量測資料的一致性與完整性，並支援統計分析、報告產出與製程監控功能，適用於研發驗證、量產製程控管及良率改善等應用情境。

主要特點

完整凸塊分析 – 量測凸塊高度、直徑與共面性，並支援分佈、篩選與趨勢分析。
晶粒與晶圓翹曲分析 – 提供精準的翹曲量測，並支援熱點圖與趨勢視覺化。
專屬資料處理機制 – 採用標準化規格格式，確保資料一致性與處理效率。
視覺化與統計分析工具 – 內建圖表與分析工具，協助快速解讀資料。
品質與良率分析 – 提供良率計算、異常偵測與品質評估功能。