軟體生態系統

概論

  • 政美應用(CMIt)提供完整的半導體軟體生態系,整合檢測、量測、AI 模組、EFEM自動化與資料分析,打造跨平台的一站式解決方案,協助客戶提升生產效率、優化良率並加速決策流程。
  • CMIt軟體生態系統採模組化且高度整合的平台架構,涵蓋檢測引擎、AI分類與進階資料分析等核心模組,具備良好的互通性,提供高度擴充性與彈性,以因應半導體製造需求的持續演進。
  • 透過整合檢測與量測資料,並結合高效能AI與進階分析模組,該生態系統可將原始製造數據轉化為具決策價值的分析洞察,進而提升製程異常原因判定效率、優化作業流程,並持續改善製程良率。
  • 同時,系統以互通性與自動化為核心設計理念,降低人工介入並統一資料格式,建立可進行跨設備與跨廠區的分析整合環境,加速半導體製造邁向真正的數位化轉型。

檢測 & 量測模組 (MOON® 系統)

  • MOON® – 核心檢測 & 量測軟體

MOON® 提供高精度檢測和測量演算法,支援2D/3D檢測、量測以及廣泛的先進封裝應用。

AI 模組 (ACME® 系統)

  • ACME® – 一體化AI模型開發平台
  • RADON – 檢測 & 分類AI
  • NEON – 分析AI

AI模組支援即時和離線缺陷分類和模型優化,降低人工複查,提升檢測效率與準確性。

分析模組 (LUNA® 系統)

  • MERCURY – 缺陷複檢軟體
  • VENUS – 缺陷分析軟體
  • MARS – 3D量測資料分析軟體

LUNA®分析模組專為報告再驗證、跨來源資料比對、進階半導體分析及3D量測資料評估而設計。透過整合IQM、缺陷分佈分析,以及完整的凸塊(bump)/翹曲(warp)分析功能,提供精準且具決策價值的洞察,進而推動製程優化與良率提升。

EFEM模組 (NOVA® 系統)

  • STELLAR – EFEM Bridge 中介整合軟體
  • LUMIN – 自動化模組

分析模組可確保晶圓搬運與前段自動化作業的穩定運行,並有效串接檢測系統與製造流程,提升整體製程自動化程度與作業一致性。

機差管理

  • 參數上傳/下載 – 支援檢測與量測參數於不同設備間的傳輸與部署,確保快速導入並維持設定一致性。​
  • 參數主機 – 透過高速網路集中儲存與管理系統參數,提供即時存取與可靠的版本控管機制,確保參數一致性與可追溯性。

系統提供跨設備的參數管理與同步功能,涵蓋參數上傳、下載與版本控管,確保不同設備間的檢測結果一致性,加速參數導入流程,並有助於持續改善製程良率。​