µLED

隨著 Micro LED 邁入商業化量產階段，如何在數百萬顆微米級晶粒中確保「零缺陷」，並達成極致的發光品質控管，已成為製程中不容忽視的關鍵瓶頸。

​​ ​ 本系統專為 Micro LED 產業量身打造，採用亞微米級高解析光學架構，提供跨越磊晶（Epi-wafer）、巨量轉移（Mass Transfer）至面板修補（Repair）的全方位檢測解決方案。為滿足 COC (Chip on Carrier) 製程的嚴苛要求，我們創新地將高解析 AOI (自動光學檢測) 與先進 PL (螢光分析) 模組整合於單一平台。此外，我們更提供高精度的基板形貌（Topography）量測方案，能精準掌握 BOW（彎曲度）、WARP（翹曲度）及 TTV（總厚度變化） 等關鍵物理參數(GSS)。