SEMI

Fan-out (RDL)

扇出型封裝(Fan-out Packaging)及其核心技術 RDL(Redistribution Layer,重佈線層)是近年來先進封裝的重要突破。透過在晶片周圍建立額外佈線區域,打破 I/O 數量受限於晶片面積的限制,實現更高互連密度。Fan-out RDL 尤其適用於邏輯晶片、記憶體、射頻晶片的異質整合,成為行動裝置、AI、高效能運算 (HPC) 與 5G 等應用的核心技術。​


 Fan-out 製程面臨多重挑戰:晶片翹曲與偏移 (Warpage & Die Shift) 影響封裝精度;RDL 線寬與線距 (L/S) 縮小至微米甚至亞微米等級,對光刻與金屬沉積提出高要求;多晶片整合帶來材料與結構差異;同時,介電層氣泡與隱藏缺陷更增加檢測難度。​


 政美應用(CMIt)專為 Fan-out 封裝設計:結合明場、暗場與 TLI 光學設計,精準檢測斷路、短路、線寬不均與顆粒缺陷,進行多層 RDL 穿透檢測,辨識介電層隱藏瑕疵;於最終外觀檢測 (FVI) 確認錫球與封裝邊緣品質,確保整體封裝可靠性與量產效率。​