EBR （Edge Bead Removal Inspection）

邊撿功能 (EBR Inspection)​

• 缺陷檢出快速
• ​ 黑白照：300張/秒
•  彩色照：3-5張/秒 (依照距離而定)
• ​ 鏡頭 (shot)：360度皆可提供清楚檢測缺陷影像

晶圓邊緣檢測

晶圓邊緣區 EBR 檢測​

• 邊緣光阻堆積缺陷 (EBR defects)
• 鏡頭圖
• ​ 缺口面積演算法

邊緣區 EBR 檢測

檢測 (缺口面積) ​

• 軟體演算法內建自動判斷缺口 (Notch) 位置功能，僅抓取缺口 (Notch) 以外的缺陷供缺陷資料輸出判定。​

檢測（缺口面積）   

量測​

• 精准抓邊計算
• ​ 移除的光阻寬度量測
•  各角度鏡頭 (Shot) 切換

精準抓邊計算