檢測產品

OptiCore

2D檢測 + 薄膜厚度量測​

OptiCore是專為矽光子應用提供精確的光學元件尺寸量測，和三五族半導體多層薄膜厚度測量。

產品特點

  • 高靈敏度缺陷檢測性能達0.25 µm
  • 缺陷大小的分類
  • 高精度薄膜厚度系統 (10nm)​
  • 光學元件缺陷檢查
  • 具GDS比對功能的光學元件尺寸測量​
  • 全圖多層膜厚度測量
  • 晶圓自動傳送
  • 無塵等級Class 1

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