检测产品
µDragon
多层中介层(RDL)检测系统
μDragon系统机台是RDL和中介层结构检测的最佳选择，确保了缺陷检测与量测的精准度。凭藉其创新的光路设计和先进的演算法，μDragon机台产品能有效的抑制来自底层的干扰，从而能够精准识别关键缺陷，以满足先进封装的严格要求。
产品特点
- 支援 6", 8", 12" 晶圆 & 310x310mm面板, 适用于晶圆厚度400-2500μm
- 缺陷检测灵敏度能达到0.7 µm
- 全光源模组多层RDL检测(线宽/线距:2μm/2μm)
- 支援大尺寸晶片检测(Die size 280mm)
