晶圓2D检测

产品特点

• 多倍率检测与量测
• 提供明场、暗场及不同波长等多模式照明
• 支持8"/12"胶膜铁框(Film Frame Carrier)自动化
• 高速多倍率彩色检视功能
• 晶圆切割后的chipping、crack、scratch检测及探针痕迹检查
• 非图案化晶圆、玻璃晶圆检测