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双面检测（搭配翻转模组）
萤光检测
边缘接触式自动化传送

检测产品

µEagleEye / µPlayLight

µLED 2D 检测与量测

专为 µLED 制程设计，可侦测缺失、旋转和移位，以确保高产量和可靠的品质。

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双面检测（搭配翻转模组）
萤光检测
边缘接触式自动化传送

产品特点

支援 COW / COC 4 寸、6 寸晶圆
双面检测（搭配翻转模组），可完整检测正反两面
全晶圆地图式量测，可精准分析晶粒位移（die shift）与旋转角度
选配萤光检测模组，适用于 R-LED / GB-LED 制程
边缘接触式自动化传送，降低晶片表面损伤风险

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