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PMI (Probe Mark Inspection)

概论

探针标记检测 (PMI) 对产品品质至关重要，能够准确检测影响良率的探针标记和缺陷。我们的自动化解决方案可确保资料准确性，避免短期或长期测试失败。
PMI 提供关键数据（尺寸、导线接合垫百分比、数量、到边缘的距离以及偏移），用于识别探针台或探针卡的探测问题，从而实现精确的制程调整。我们先进的解决方案还能侦测和测量晶圆因探针所造成的损伤，进而提高大批量生产环境下的产量和良率。最终，PMI 的详细检测和动态搜索功能可提高可靠性和效率。

性能

检测探针痕迹的关键数据，如尺寸、导线接合垫百分比、数量、到边缘的距离以及偏移。
在检测导线接合垫的同时，动态搜索相关数据资料。