SEMI

Fan-out (RDL)

扇出型封装(Fan-out Packaging)及其核心技术 RDL(Redistribution Layer,重布线层)是近年来先进封装的重要突破。透过在晶片周围建立额外布线区域,打破I/O数量受限于晶片面积的限制,实现更高互连密度。Fan-out RDL 尤其适用于逻辑晶片、记忆体、射频晶片的异质整合,成为行动装置、AI、高效能运算 (HPC) 与 5G 等应用的核心技术。​


Fan-out 制程面临多重挑战:晶片翘曲与偏移 (Warpage & Die Shift) 影响封装精度;RDL 线宽与线距 (L/S) 缩小至微米甚至亚微米等级,对光刻与金属沉积提出高要求;多晶片整合带来材料与结构差异;同时,介电层气泡与隐藏缺陷更增加检测难度。​


政美应用(CMIt)专为 Fan-out 封装设计:结合明场、暗场与 TLI光学设计,精准检测断路、短路、线宽不均与颗粒缺陷,进行多层 RDL 穿透检测,辨识介电层隐藏瑕疵;于最终外观检测 (FVI)确认锡球与封装边缘品质,确保整体封装可靠性与量产效率。