EBR （Edge Bead Removal Inspection）

边捡功能 (EBR Inspection)​

• 缺陷检出快速
• ​ 黑白照：300张/秒
•  彩色照：3-5张/秒 (依照距离而定)
• ​ 镜头(shot): 360度皆可提供清楚检测缺陷影像

晶圆边缘检测

晶圆边缘区 EBR 检测

• 边缘光阻堆积缺陷 (EBR defects)
• 镜头图
• 缺口面积演算法

边缘区 EBR 检测

​检测 (缺口面积)

• 软体演算法内建自动判断缺口(Notch)位置功能，仅抓取缺口(Notch)以外的缺陷供缺陷资料输出判定。 ​​

检测 (缺口面积)   

量测​​

• 精准抓边计算
• ​移除的光阻宽度量测 
• 各角度镜头(Shot)切换​

精准抓边计算